計測・検査

マクロ光学検査装置(表面欠陥検査装置)

製品画像

マクロ光学検査は、独自開発のラインセンサーカメラを用いて、反射光の変化を利用したマクロ検査技術です。

独自開発のラインセンサーカメラを用いて、業界最高レベルの高感度を
実現!

ナノオーダーの表面キズ、歪みの検査が可能

非破壊かつ高速で自動処理
ばらつき無く、履歴の管理が可能

安定の全数検査で、不良品の流出防止が可能!
トータルでのコスト削減が可能に!!

社外パートナー:スミックス株式会社
        http://smics-jp.com/

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マクロ光学検査の仕組み

3つの反射光の変化を利用して、表面欠陥検査を実現しています。

1. エッジ反射光

エッジ反射光

検査対象(ワーク)からの反射光をダイレクトに受光して表面欠陥を検査します。

2. 複合反射光

複合反射光

検査対象(ワーク)からの反射光のうち色情報を利用して表面欠陥を検査します。

3. ミー散乱光

ミー散乱光

検査対象(ワーク)から指向性のあるミー散乱光を受光して、結晶欠陥などの検査を行います。

マクロ光学検査の例

検出可能な表面欠陥の例

  • 段差10 ~ 20nmのスリップキズ
    段差10 ~ 20nmのスリップキズ
  • 半導体ウエハーの表面凹凸(縞)キズ
    半導体ウエハーの表面凹凸(縞)キズ
  • スマートホンカバーガラスのキズ(検査時間:8秒/カバーガラス両面)
    スマートホンカバーガラスのキズ
    (検査時間:8秒/カバーガラス両面)
  • 高さ変化のある金属表面のキズ
    高さ変化のある金属表面のキズ

検査の流れ

検査の流れ
検査の流れ
検査の流れ
生産工場

製品ラインナップ

下記の主要モジュールを中心にカスタム装置を提供しております。

OAS1 (エッジ反射光向け光学ユニット)
  • 2048画素 低ノイズセンサカメラ
  • 照明 450 ~ 1500mm
  • 画像処理ソフトウエア付き
OAS1 (エッジ反射光向け光学ユニット)
OAS2 (複合光向け光学ユニット)
  • 7330画素 ラインセンサカメラ
  • 画像処理ソフトウエア付き
OAS2 (複合光向け光学ユニット)
OAS3 (ミー散乱光向け光学ユニット)
  • 超高感度マクロ欠陥検出光学ユニット
  • 7330画素 ラインセンサカメラ
  • 画像処理ソフトウエア付き
OAS3 (ミー散乱光向け光学ユニット)

標準のラボ用装置の提供を行っております。

TEMS
  • マクロ光学検査装置(ラボ機)
  • W1020 x D1700 x H2200 mm、600Kg
  • AC100V(50Hz/60Hz)、8A
  • 測定対象寸法 300 x 300 mm
OAS1 (エッジ反射光向け光学ユニット)

オーダーインフォメーション

型名 納品物 備考
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