東京エレクトロンデバイスの装置を強くする画像処理

次の10年を支える
装置開発

東京エレクトロンデバイスの

装置を強くする

画像処理

THE ISSUES

現場でこんな課題はありませんか？

現場
が直面する課題
- 装置内の位置合わせ精度を改善したい
- 未解決の欠陥検査への対応をしたい
- 画像処理速度を高速化したい
今後
顕在化する課題
- 社内の光学・画像処理技術人材が足りない
- 競争に勝つために開発スピードアップしたい
- 現在採用中のハードやソフトのEOL対応が心配

東京エレクトロンデバイスは
独自の「画像処理ライブラリ」と
「専用データ処理ハードウェア」を核に、
光学機器を含めた最適システムを設計し、
装置固有の課題に特化した解決システムを
ご提供します。

01

課題ごとに組み替えられる
独自画像処理ライブラリ
02

高速処理を実現する
専用ハード連携
03

光学・画像処理・制御まで
トータルで設計

お客様の装置へ組込

RESULTS

システム導入後の成果

装置の機能向上
競争力UP
- 高精度の位置合わせで加工品質向上
- 検査力UPで装置の競争力UP
- 高速画像処理で検査時間短縮
安定した
開発・製造体制へ
- 開発連携で画像処理人材の懸念を解消
- 画像処理システム丸ごと依頼・供給
- 長期供給製品・サポートで安心製造

USE CASE

ユースケース

01

画像ライブラリ採用による開発スピードアップが決め手！
印刷検査装置メーカー様
お客様の課題
- 欠陥検出率や正解率を向上させる高機能検査機能の開発が必要
ご採用のポイント
- ライブラリ採用による開発スピードUP
- ライブラリ機能とハードウェアの柔軟性
- 適切なハードウェア設計と最適化開発
02

サブピクセル精度でのロバストなサーチが決め手！
半導体製造装置メーカー様
お客様の課題
- ミクロン・サブミクロンレベルの高精度な画像認識能力を求めている
- 複雑形状・透明素材ワークにおける位置決め精度のばらつきがある
ご採用のポイント
- サブピクセル精度のエッジ検出と位置認識が可能なライブラリ
- 複雑な形状や微細パターンの認識に強く、
  回転・スケール変化にも対応
- 高速処理対応
03

ソフト・ハード両面でのサポート力が決め手！
半導体製造装置メーカー様
お客様の課題
- エンドユーザでのトラブルが発生した時のサポートが必要
ご採用のポイント
- アライメント手法のアルゴリズム提案による検出性能の向上
- 長期安定供給と互換性を維持した上位機種の定期的リリース
- 保守・メンテナンス対応
  （アルゴリズム開発者まで遡ったサポート）
04

検査システムの設計・提案力と安心の接続性が決め手！
部品検査装置メーカー様
お客様の課題
- 画像処理ライブラリのみだと、実行環境のハードウェアの
  選定・メンテが必要
- 用途を秘匿するためにライブラリで内製したい
ご採用のポイント
- 画像処理装置としてソフトウェアと
  ハードウェアの
  セットの提案、提供
- 堅牢性、後継機の提案、長期安定供給、信頼性
- 時代に左右されないライブラリのソースコード互換

IMAGE PROCESSING SYSTEM COMPONENTS

画像処理システムの構成製品

01

画像処理ライブラリ

画像処理アプリケーション
プログラム開発用ソフトウェアライブラリ
特徴
- 1.国産豊富な画像処理機能
- 2.C/C#の開発に最適なクラスライブラリ
- 3.画像入力ボードによる豊富なカメラ対応
02

画像処理装置

高速・高機能とコンパクトサイズを両立した
ミニタワー型およびA4サイズの小型画像処理装置
特徴
- 1.画像処理に最適な小型PC
- 2.高いFA品質と堅牢性
- 3.長期安定供給、長期修理対応
03

位置決め装置

高機能・高精度位置決め用画像処理装置画像情報を
もとにワークを基準位置に合わせ、XYおよび
θ方向の補正量を算出し、ステージの軸を制御
特徴
- 1.最大5カメラ構成に対応する自動
  キャリブレーションおよび位置合わせ
- 2.サブミクロンレベルの高精度アライメント
- 3.最大3台までのステージを制御（4軸構成）

装置に組込むからこそ

重要な2つの利点

長期供給・長期サポートで、
装置開発を安定支援

半導体製造をはじめとする産業用装置には、長期間の製品供給とサポートが求められます。そのため、供給期間が短い汎用ハードウェアやソフトウェアの採用は、大きなリスクとなりかねません。
当社では、長期サポートが可能な自社開発のハードウェア・ソフトウェアを中心に、装置開発を支援。装置メーカー様ごとのカスタム対応にも柔軟に対応します。さらに、自社開発の画像処理ライブラリを活用し、ブラックボックス化せずに、詳細なアーキテクチャ情報を含めた技術サポートをご提供します。

01

ソフト・ハードの長期サポート

自社設計・開発・製造製品
02

カスタム開発可能なホワイトBOX

自社開発の画像処理ライブラリ

装置開発に画像処理の力が必要な方はぜひ、ご相談ください。

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装置メーカー向け
画像処理製品カタログ
【この資料で分かること】
- ・画像処理ソリューションの全体像
- ・画像処理ライブラリ製品・画像処理
  装置製品のそれぞれの概要と特徴
- ・位置決め装置 FV-aligner II の概要と
  システム構成例
こんな方におすすめ
- 画像処理システムの導入を検討中の方
- 既存システムの高速化・自動化を検討中の方
- 画像処理ライブラリや画像処理装置の選定に迷われている方
アライナー応用事例
10選
【この資料で分かること】
- ・位置決め装置 FV-aligner II に搭載された手間無しを実現する機能
- ・具体的なアライメント工程での活用事例
- ・システム構成例と導入メリット
こんな方におすすめ
- 新しい装置に搭載するアライメント機能をお探しの方
- 既存装置のアライメントの高精度化を検討中の方
- 顧客提案や装置開発の参考事例をお探しの方
TED AI活用
事例集
【この資料で分かること】
- ・多様な業界・製品でのAI活用による目視検査の自動化事例
- ・AI導入に至るまでのステップガイド
- ・AI導入にあたってのポイントや注意
  点
こんな方におすすめ
- 目視検査の効率化や自動化を検討中の方
- 既存の検査装置をAI活用により高精度化したい方
- AI導入に興味があるが具体的な道筋にお悩み中の方