Quality and
Efficiency
品質と効率を同時に実現
ウェーハ外観検査装置の導入で
生産現場を革新します
こんなお悩みありませんか？
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現場でよくある課題
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量産工程の目視検査を自動化したい
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抜き取りで行っている顕微鏡検査を自動化したい
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利用している検査装置が老朽化し更新したい
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検査でよくある課題
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高速検査で全数検査を実現したい
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表面・裏面・端面をまとめて検査し効率を上げたい
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欠陥種類を自動で分類し工程改善につなげたい
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東京エレクトロン
デバイスなら…
最新技術を駆使した検査装置で、
これらの課題を一挙に解決します。
ウェーハ外観検査装置 RAYSENS
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サブミクロンレベルの欠陥を高速検査※60～150/WPH
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1台の装置で表面・裏面・端面をマルチ検査
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高性能画像処理とAIによる欠陥検出と自動分類
課題を解決する3つの技術
Technology
高速・高感度マクロ検査
専用開発された光学系により、光の僅かな変化を捉えて欠陥を検出します。シリコン、化合物半導体、ガラスなどのウェーハ上の、異物、スクラッチ、膜ムラ、スリップ欠陥などを高速、高感度に検出することが可能です。
高性能検査アプリケーション
検査設定、レシピ作成、装置制御を統合したアプリケーションです。検出対象の欠陥を最適なアルゴリズムで検出し、欠陥自動分類により、欠陥の発生原因追究や解析などに用いることが可能です。
マルチファンクションアーキテクチャー
（表面・裏面・端面）
ウェーハ表面、裏面、エッジ部の検査を1つの検査装置に統合することにより、パーティクル汚染のリスクを軽減し、トータルの検査時間短縮、省スペース化が図れます。 ウェーハIDリード（OCR）、厚み測定などのオプションも対応可能です。
検査対象のウェーハ
Wafer
Siウェーハ、化合物ウェーハ、ガラスウェーハ、マスクブランクスまで幅広い材料に対応します。
それぞれの材料特性、欠陥に特化した光学系・画像処理にて欠陥検査します。
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Si（8/12inch）
ウェーハの主な用途
ロジック・メモリ等幅広い半導体、インターポーザ
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SiC(6/8inch）
ウェーハの主な用途
パワー半導体向け
（MOSFET、SBD etc） -
Glass（8/12inch）
ウェーハの主な用途
サポート・キャリアウェーハ、
インターポーザー基板 -
LT/LN（6/8inch）
ウェーハの主な用途
SAWデバイス、光アイソレーター、センサー
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GaN（6/8inch）
ウェーハの主な用途
高電圧・大電流対応の パワー半導体、レーザー、LED
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InP（3/4inch）
ウェーハの主な用途
レーザーダイオード等の光通信デバイス、高周波デバイス
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Mask Blanks（6inch）
検査対象の欠陥
Defect
ウェーハの表面、面内、裏面、端面にある以下の図にあるような各種欠陥を検査します。
欠陥サイズは、サブミクロン～数十ミクロンが主な対象です。
対象の欠陥一覧
| カテゴリー | 検出対象の種類 |
|---|---|
| 表面 / 裏面 | 異物（パーティクル） |
| 汚れ | |
| スクラッチ | |
| 凹み（ディンプル） | |
| 欠け（チッピング） | |
| 亀裂（クラック） | |
| 結晶欠陥 | |
| ピンホール | |
| 突起（プロチューベランス） | |
| 色ムラ | |
| リソグラフィ不良（リソ） | |
| 研磨痕（ポリッシュマーク） | |
| グラインディングマーク | |
| 熱影響痕（サーマルマーク） | |
| ヘイズ（曇り） | |
| エッジノッチ | 亀裂 / 欠け / 汚れ |
| 接合面 | ボイド（空隙） |
Si、化合物ウェーハの例
ガラスウェーハの例
ウェーハの検査工程例
Inspection Process
サンプル評価
検査課題をお持ちのお客様には、弊社評価環境にて欠陥サンプルの評価を実施させていただきます。
検査の実現性可否をご確認頂きながら、装置導入の検討を進めていただけます。
資料無料ダウンロード
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01
半導体ウェーハの外観検査
まるわかりブック
【この資料で分かること】
- ・多様なウェーハ材料
- ・ウェーハ製造工程と外観検査
- ・欠陥の種類
- ・検査技術のカテゴリ
こんな方におすすめ
Si、化合物（SiC, GaN, LT/LN, InP), ガラスウェーハ等の検査に関心や課題をお持ちの方
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02
半導体は次の次元へ
微細化から集積へ
アドバンストパッケージの世界
【この資料で分かること】
- ・外部脅威を排除しセキュアな工場へ
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マップ
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半導体製造工場の現場、IT担当者、半導体装置メーカーでセキュリティに関心と課題をお持ちの方
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03
半導体工場の現場
DXガイドブック-設備の予知保全、品質監視-
【この資料で分かること】
- ・半導体製造工程とDXの取組み
- ・製造プロセス監視の作業自動化
- ・ウェーハ欠陥の原因調査
- ・設備稼働監視作業の自動化
- ・装置・設備・部品の故障予兆監視
こんな方におすすめ
ウェーハ製造工場や、デバイス製造工場のファシリティ設備の業務課題に関心や課題をお持ちの方
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04
OTを止めるな!!
半導体業界に
必須のサイバー攻撃対策
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半導体製造工場の現場、IT担当者、半導体装置メーカーでセキュリティに関心と課題をお持ちの方
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まずはお試しから！