1. HOME
  2. 製品・サービス
  3. 検査の自動化
  4. 微細表面状態のマクロ光学検査装置

製品・サービス

検査の自動化 微細表面状態のマクロ光学検査装置

拡大表示

検査対象物に専用照明で光を照射し、その反射光(輝度)から表面形状の微小な変化を捉える検査技術です。専用開発されたマクロ光学センサーと、弊社開発の画像処理ソフトウェアを一体化することで、今までにない高感度、高精度、高速処理を実現。蓄積された可視化ノウハウで、コンサルティングから製品化までサポートします。

課題

・検査員による目視検査を行っているが目視に代わる最適な検査機がない
・微細欠陥検出と高速タクトを両立する検査機がない
・表面にパターンが形成されているなどの理由で異物などの欠陥を精度よく検出できない
・薄く広がる膜ムラを感度よく検出できない
・下地などの影響を受けて表面欠陥を精度よく検出できない

課題

 

 

 

 

 

 

利点

・ウェハー、FPD等、広い面積の微細表面状態の検査を高速に行うことが可能
・目視検査に頼っていた検査を自動化が可能
・検出対象に最適なセンサー、照明の組み合わせにより幅広い種類の欠陥検出が可能
・検査基準にあわせて検出閾値を調整が可能
・表面状態の定量化(データ化)、統計処理などにより、試作品の傾向や分析が可能

特徴

・マクロ光学コア技術

■エッジ反射光

■エッジ反射光

 

 ■Mie散乱光■Mie散乱光

 

・検査対象物、検出対象にあわせて最適なセンサー、照明の組み合わせで光学条件を構築
・検出対象に最適な画像処理アルゴリズムを選択して欠陥検出
・デモ機にて事前評価を実施、検査対象物の画像と画像処理結果にて事前レビューが可能
・マクロ検査専用アプリケーションソフトにより撮像から画像取り込み、画像処理までをシームレスに実行

製品仕様

・超低ノイズ専用マクロ光学センサー、専用開発された高輝度LED照明

超低ノイズ専用マクロ光学センサー専用開発された高輝度LED照明

 

・専用マクロ検査アプリケーション、画像処理ライブラリー

専用マクロ検査アプリケーション、画像処理ライブラリー

 

 

 

 

・クリーンルームでの使用環境を考慮した装置仕様
・自動搬送機能(ローダー)オプション対応
・インライン対応についてもご相談が可能

資料ダウンロード

検査の自動化 資料一式

お問い合わせ

お気軽にお問い合わせください。

マクロ検査装置デモ機

お見積り・資料請求・
技術的なお問い合わせ等

PAGE TOP