フラットパネル検査装置

• 点欠陥
• 線欠陥
• ムラ（局所的・大域的）：ムラは不定形の場合が多い

• パネル後工程　偏光板貼り付け前検査・偏光板貼り付け後検査

  

  パネル後工程

  

低コントラストの点・線欠陥を検出可能

点欠陥

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線欠陥

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ムラやシミなどの欠陥を検出可能

ムラ欠陥

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シミ欠陥

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縞背景欠陥検査

縞模様であっても、正確に欠陥を検出することができます。

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• 各検査PCの制御・結果統合・結果分類・OK/NG判定までを行う
• PLC・上位サーバーなどと通信を行い、システム全体を管理する

ホストソフトウェアイメージ

論文

• 2019年12月：ディスプレイ画質検査におけるAI応用 (ViEW2019)
• 2006年12月：「Implementation of Region-Mura Detection Based on Recursive Polynomial-Surface Fitting Algorithm　（AISM2006）」
• 2005年12月：カメラキャリブレーションを用いた液晶欠陥検査システムの座標変換方法
• 2005年3月：FPD 点灯検査用画像処理システムの開発

特許

• 特許第3749726号

本検査装置を使用して表面の状態や欠陥部分をご確認したいお客様には、対象となるワークサンプルをお借りし、デモ機による事前評価を行うことが可能です。ご要望の際は、お問い合わせにてお気軽にご相談ください。東京エレクトロンデバイス エンジニアリングセンター
〒224-0045 神奈川県横浜市都筑区東方町17番地

機械視覚（Machine Vision）

検査だけでなく、測定、位置決め、識別なども含まれます。日本では自動化外観検査と呼ばれ、工業生産製造に広く応用されています。

機械製造技術

機械構造、伝送、制御システム

光学技術

カメラ、レンズ、照明などを利用して最適な検査画像を取得。

画像処理技術

画像処理アルゴリズムを使用して検査対象物の欠陥を検出。