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計測・検査
フラットパネル検査装置 FV-pixellence
フラットパネル検査装置
LCD/OLEDなどに代表される平面発光ディスプレイの点灯検査、またはガラス・フィルム・金属などのフラット物のパーティクル検査または傷・汚れ検査など、フラットなワークの表面検査に最適な検査装置です。ファースト独自の画像処理技術を駆使し、低コントラストの点・線欠陥やシミ・ムラ欠陥あるいはパーティクルを検出します。作業者がワークの設置や画面を見ながら操作する半自動型、外部機器からの制御で動作するインライン型、複数台の装置で分散処理を行うマルチプロセス型があります。また1億超までの高分解能エリアカメラ対応機、ラインカメラ対応機、カラーカメラ対応機が選択できます。
欠陥強調例
カラーカメラ対応版
検査項目
- 点（明画素・暗画素）欠陥検出
- 線（明線・暗線）欠陥検出
- シミ・ムラ欠陥検出（ある程度の塊になったもの：上写真を参照）
- パーティクル検出
- 欠陥位置や欠陥サイズ等の計測
応用例
- フラットパネルディスプレイの総合欠陥検査に
- LCDやOLEDの輝度ムラ欠陥検査に
- タッチパネルやフィルムのパーティクル検査に
- 有機ELの点灯検査に
- ガラスやフィルムの傷・汚れ検査に
- 金属表面の傷欠陥検査に
- その他平面物のシミ・ムラ欠陥検査に
検査例
FV-pixellenceを使用した検査例です。
シミ欠陥検査
薄いコントラストのシミを検出しています。
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検出画像
点欠陥（RGBフィルターの潰れ）検査
点欠陥RGB各色の潰れ検査をしています。
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検出画像
点欠陥（RGBフィルターの潰れ）検査
点欠陥RGB各色の潰れ検査をしています。
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検出画像
ムラ欠陥検査
ムラ欠陥を検出しています。
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検出画像
点灯検査（黒）
点灯時に異常が無いか液晶を検査しています。
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点灯検査（青）
点灯時に異常が無いか液晶を検査しています。
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線欠陥検査
画面に入ってしまった線欠陥を検出しています。
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縞背景欠陥検査
縞模様であっても、正確に欠陥を検出することができます。
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検出画像
標準機能
欠陥検査
白点、黒点、白線、黒線、シミ、ムラ検査
| 色空間変換処理(カラーカメラ対応版のみ) | 色空間変換(RGB,XYZ,HSV,YIQ,YUV,Lab)、色抽出処理 |
|---|---|
| 前処理 | 前処理検査エリア抽出、シェーディング補正、コントラスト強調、繰り返しパターン除去 |
| 各欠陥検査処理 | フィルター(平均、最大、最小等全20種)、特徴量抽出フィルタ、2値化、2値画像処理、特徴量計算(欠陥座標、面積、濃度、周囲長等) |
| 結果データ処理 | 座標変換、OK/NG判定(個数、面積、距離)、データ出力(画面、ファイル) |
連続検査
最大16画面(16種類)の連続検査
検査画像解析・補助
Aスコープ、投影、2値化、欠陥位置表示、ヒストグラム、検査エリア表示、画面拡大表示
外部通信
RS232C、DI/DO、LAN
※ソフトウェア対応は一部オプションになります。
その他
オペレータ/管理者モード切替、画像ファイルのセーブ/ロード、検査内容のファイル出力、設定内容の印刷、DI/DOチェック画面
※標準版(STANDARD)、ラインセンサカメラ対応版(LIN)、カラーカメラ対応版
論文・特許
論文
- 2019年12月：ディスプレイ画質検査におけるAI応用 (ViEW2019)
- 2006年12月：「Implementation of Region-Mura Detection Based on Recursive Polynomial-Surface Fitting Algorithm （AISM2006）」
- 2005年12月：カメラキャリブレーションを用いた液晶欠陥検査システムの座標変換方法
- 2005年3月：FPD 点灯検査用画像処理システムの開発
特許
- 特許第3749726号
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