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4. 東京エレクトロンデバイスとアイテス、 SiCデバイスの潜在欠陥をウェーハレベルで可視化する検査ソリューションで協業 ～UVレーザー技術を用いた新製品「SiC潜在欠陥検査装置／通電劣化シミュレーター ITS-SCX100」の開発・販売により材料評価リードタイムを短縮し、 高信頼なSiCデバイス開発を支援～

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