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フラットパネル検査装置
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LCD/OLEDなどに代表される平面発光ディスプレイの点灯検査、またはガラス・フィルム・金属などのフラット物のパーティクル検査または傷・汚れ検査など、フラットなワークの表面検査に最適な検査装置です。ファースト独自の画像処理技術を駆使し、低コントラストの点・線欠陥やシミ・ムラ欠陥あるいはパーティクルを検出します。作業者がワークの設置や画面を見ながら操作する半自動型、外部機器からの制御で動作するインライン型、複数台の装置で分散処理を行うマルチプロセス型があります。また1億超までの高分解能エリアカメラ対応機、ラインカメラ対応機、カラーカメラ対応機が選択できます。
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