ICSCRAM 2024

東京エレクトロンデバイスは、2024年9月29日（日）～10月4日（金）にノースカロライナ州ローリーのローリーコンベンションセンターで開催される「ICSCRM2024」にITES様ブース内でパネル展示いたします。小間番号は11（ITES様ブース内）です。

展示内容は、東京エレクトロンデバイスより、SiCベアウェーハの目視検査を高感度・高スループットにて実現できる、自動欠陥分類を搭載した、全自動外観検査装置RAYSENSポスター展示のほか、
ITES様よりUV照射によるSiCエピ膜内部の潜在欠陥拡大およびレーザーオートフォーカスによるPL観察機構を備えた装置等、最新のテクノロジーを駆使したソリューションを紹介します。

その他展示連日SiCにまつわる各種論文発表が行われます。皆様のご来場を心よりお待ちしております。

※ICSCRM（International Conference on Silicon Carbide and Related Materials）は、シリコンカーバイド（SiC）および関連材料に関する国際会議です。

展示例1

展示例2