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フラットパネル検査装置
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LCD/OLEDなどの平面発光ディスプレイや、ガラス・フィルム・金属といったフラットワークの表面検査に最適な装置です。キズ・汚れ・パーティクルなどの微細欠陥を、独自の画像処理技術で高精度に検出します。MicroLEDやMiniLEDといった車載・スマートフォン用途にも対応可能。半自動型・インライン型・マルチプロセス型をラインアップし、用途に応じた運用が可能です。1億画素超の高解像度カメラやラインカメラ、カラーカメラにも対応。ルールベース処理にAIを組み合わせ、より高度な欠陥分類にも対応します。
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