第2回 ［九州］半導体産業展

東京エレクトロンデバイスは、2025年10月8日（水）～9日（木）マリンメッセ福岡A館にて開催される第2回 ［九州］半導体産業展（小間番号：A8-18）へ出展します。
当社ブースでは、最先端の測定検査ソリューションを出展します。

ナノ精度 ×  自動欠陥分類――測定検査の最先端技術をぜひご体験ください。

製造品質・製造装置の異常監視

• 予知保全・品質改善を目的に、データ収集から異常検知・状態診断までを1台で実現するBOX型装置

• データ収集・可視化・異常検知・通知・制御など、稼働監視に必要な機能を標準搭載

• 導入現場で処理を完結するオンプレミス型で、スピーディーな導入が可能

貼合せウェーハ（エッジ形状測定装置 ）

• 幅・深さを含む高精度なトリミング形状測定を実現

• 高精度なエッジプロファイル測定を実現。サブミクロンレベルの精度で形状を解析可能

貼合せウェーハ（エッジ側面検査/TTV測定装置）

• エッジ側面を高精度に検査。サブミクロンレベルの精度で形状を把握

• 高精度TTV測定を実現。精度は3nm以下で、複数層の膜厚TTVを同時に測定可能

外観検査装置：MEMS/パワーデバイス

• MEMS、SiPh、EML/DFBレーザー、パワーデバイスなど、多様なデバイスの検査に対応可能

• 高分解能モードで0.345 µmの詳細検査を実現

• AI分類機能を備えた全自動欠陥分類