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LT/LNウェーハ欠陥検査装置
LT,LNウェーハの主な用途は、スマートフォンなどの無線通信端末に搭載されるSAWデバイスです。このデバイスは音声通信やデータ通信時のノイズや混信を防ぐ特定周波数のフィルターとして不可欠で、製造量の増加や大口径化が見込まれるため、需要は今後も高まり、自動外観検査の重要性も増すと予想されます。英語サイトはこちら
欠陥検査装置の用途
- LT/LNウェーハの最終検査
- 研削後検査
- ポリッシュ後検査
導入検査工程候補
対象の欠陥
- 表面：スクラッチ、パーティクル、色ムラ、クラック、チッピング、汚れ、洗浄痕、研磨痕、研削痕
- 面内：貫通孔
- 裏面 ：スクラッチ、クラック、汚れ
- 端面（エッジ）：チッピング、クラック、汚れ
特長
高速・高感度検査
専用ラインセンサーカメラ、専用光源で200mm までのLT/LNウェーハ全体を高速スキャン、欠陥抽出
光の透過率が高い半透明ウェーハにおいても検査ステージの影響を受けずに正確な検査が可能
高度な欠陥分類
LT/LNウェーハの表面、裏面の典型的な欠陥を自動で分類
1台で裏表面・端面を検査
1台で表面検査、裏面検査、端面検査のマルチ検査が可能
パラメータの最適化
良品ウェーハの基準にあわせたパラメータの最適化によりターゲット欠陥の未検出、過検出を抑制
色ムラ検知
色ムラなど、ムラの程度により選別を行ったり、ムラの定量化を行うことが可能
仕様
| 項目 | 詳細 |
|---|---|
| 対応ウェーハサイズ | 150mm/200mm |
| 対応ウェーハ | LT/LN ウェーハ |
| 検査感度 | 表面：0.3um< ※PSL on Si wafer 端面：1-10μm 面内：1-10μm |
| スループット | 30–90秒 / ウェーハ ※検査要件によって変動 |
| ロードポート・カセット数 | Min2～Max4（12inch） Min2～Max 10 （8inch) |
| 他機能 | アライナー、IDリーダー、GEM対応 |
サンプル評価
本検査装置を使用して表面の状態や欠陥部分をご確認したいお客様には、対象となるワークサンプルをお借りし、デモ機による事前評価を行うことが可能です。ご要望の際は、お問い合わせにてお気軽にご相談ください。
東京エレクトロンデバイスエンジニアリングセンター
〒224-0045
神奈川県横浜市都筑区東方町17番地
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用語集
- LT, LN ウェーハ
- LT, LN ウェーハとは、酸化物単結晶のウェーハで、それぞれタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムのことです。シリコンウェーハと同様にチョクラルスキー法（Cz法）で融液成長可能で量産に向いた材料で、ウェーハもシリコンと同様の手法で加工が可能です。
- SAWデバイス
- SAWデバイスとは、弾性表面波（SAW：Surface Acoustic Wave）デバイスのことで、スマートフォンなどの無線通信端末になくてはならない高周波フィルタとして使われています。圧電性結晶基板の上に金属薄膜で構成された電極・反射パターンが形成された構造で、特定の周波数の電気信号を選択的に取り出すことが可能です。
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